Die Stromzufuhr erfolgt über die sogenannten Bürsten. Im unbelasteten
Zustand ist die Drehzahl des DC-Motors annährend proportional zur angelegten Spannung.
Da ein Gleichstrommotor nicht über definierte Schritte verfügt, ist zur Positionsrückmeldung
ein inkrementales Wegmeßsystem, bzw. ein Drehgeber notwendig., Einstellempfindlichkeit,
ist die minimale Stellgröße, die eine Bewegung bewirkt. Sie wird auch beschrieben
als das Verhältnis von resultierender Bewegung und ursächlichem Antrieb., Führungsabweichung,
ist der lineare Anteil einer Abweichung von der Verstellachse. Die Führungsabweichung
setzt sich aus zwei orthogonalen Komponenten zusammen:, Geradheit (Abweichung in der
Ebene des Verschiebeschlittens) und die Ebenheit (Abweichung außerhalb der Ebene des
Verschiebeschlittens)., Führungsgenauigkeit, durch Ungenauigkeiten der Führung (z.B.
Toleranzen der Wälzkörper) bewegt sich die Aufspannfläche des Messschlittens nicht
auf einer idealen Geraden. Typische Abweichungen sind Gierfehler Gz und Neigefehler
Gy. Diese Abweichungen werden zusätzlich als absolute und relative Abweichungen definiert.
Die relative Abweichung ist die Abweichung bezüglich der mittleren Geraden (Ausgleichsgerade).,
Geradheitsabweichung Gz (Gieren), Ebenheitsabweichung Gy (Neigen), Genauigkeit, Sie
beschreibt die erwartete Abweichung zwischen der Ist- und der Sollposition. Die Genauigkeit
eines Positionierers hängt u.a. von der Messmethode der Istposition ab., Geschwindigkeit,
Wegänderung pro Zeiteinheit, Geschwindigkeit , Weg
/ Zeit (v , s / t), Die jeweiligen Geschwindigkeiten hängen
von der Spindelsteigung, der Motordrehzahl und eventuellen Getriebestufen ab., Geschwindigkeitsstabilität,
ist die Fähigkeit, eine Bewegung mit konstanter Geschwindigkeit auszuführen. Die Geschwindigkeitsstabilität
hängt von der mechanischen Messtischkonstruktion, den Steuerungsmechanismen und -algorithmen,
den Encodern und der Geschwindigkeit selbst ab., Haftreibung, Haftreibung ist die
statische Reibung, die überwunden werden muss, um einen Körper aus der Ruheposition
zu bewegen. Da die statische Reibung immer höher als die Gleitreibung ist, muss eine
höhere Kraft angewendet werden um einen Körper aus der Ruheposition zu bewegen als
einen Körper in Bewegung zu halten. Daher bewegt sich ein Körper unter Krafteinwirkung
zunächst nicht und dann oberhalb einer nicht reproduzierbaren Schwelle plötzlich mit
einem nichtlinearen "Sprung", der von modernen Steuerelektroniken ausgeglichen
werden kann (Stick-Slip-Effekt)., Hysterese, bezeichnet unterschiedliche Bewegungen
bei denselben Eingangssignalen, die bei verschiedenen Richtungen auftreten. Hysterese
wird durch elastische Kräfte in verschiedenen Komponenten des Antriebsstranges (z.
B. Verwindung der Antriebsspindel) verursacht. Die Hysterese wird häufig mit Umkehrspiel
verwechselt, welches jedoch genau gestimmt und mit geeigneter Steuerelektronik ausgeglichen
werden kann., Kozentrizität und Taumelfehler, Beim Rotationsmesstisch bezeichnet die
Kozentrizität (Exzentrizität) die Abweichung des Drehmittelpunktes von seiner mittleren
Position im Verlauf einer Drehung. Bei einem perfekt zentrierten Rotationsmesstisch
würde bei der Drehung keine Exzentrizität auftreten. Taumeln eines Rotationsmesstisches
ist die Winkelabweichung der Rotationsachse im Verlauf einer Umdrehung., Längenmeßsystem,
Bei hohen Forderungen an Positioniergenauigkeit und Reproduzierbarkeit bzw. bei den
Tischen wo ein Linearantrieb den Spindelantrieb ersetzt, dient ein hochauflösendes
inkrementales Längenmeßsystem der höchsten Genauigkeitsklasse zur Positionsrückmeldung.
Spindelsteigungsfehler und Umkehrspiele werden dabei kompensiert. Die maximale Auflösung
des zum Einsatz kommenden Standardmeßsystems beträgt 0,1 µm. Höhere Auflösungen können
mit Sondermeßsystemen erreicht werden., MTBF Lebensdauer, MTBF oder Mean Time Between
Failures ist ein Maß für die Zuverlässigkeit eines Messtisches., Nanotechnologie,
Die Silbe "Nano" (griech. Zwerg) bezeichnet einen Größenbereich, der 1000fach
kleiner ist als Strukturen derzeitiger Bauelemente des Mikrometerbereiches (1nm entspricht
dem milliardsten Teil eines Meters). Die Nanotechnologie beschäftigt sich mit Systemen,
deren Komponenten aufgrund ihrer Kleinheit (nm-dünne Schichten, nm-glatte Präzisionskörper,
nanoskalige Einzelstrukturen, Materialien aus Nanopartikeln sowie Analyseverfahren,
die auf nanoskaligen Effekten basieren) völlig neue Eigenschaften und Funktionen für
Produkte und Verfahren ermöglichen., Unter Wissenschaftlern werden die Erkenntnisse
der Nanotechnologie bereits seit mehreren Jahren als Schlüssel für zukünftige Technologien
und Produkte diskutiert. Um die neuartigen Effekte in der Nanometerdimension genau
zu verstehen, sind Kenntnisse aus vielen spezialisierten Fachdisziplinen notwendig,
die einen branchen- und fachübergreifenden Ansatz erforderlich machen. Erst das Verständnis
der Vorgänge in atomarer Dimension ermöglicht es, Produkteigenschaften zu optimieren
und neue Verfahren bzw. Produkte zu entwickeln., Experten erwarten enorme Fortschritte
in den Bereichen neuer ressourcenschonender Materialien, intelligenter Oberflächen,
hochpräziser Formkörper sowie ultradichter Datenspeicher. Die Beherrschung der Analyse-,
Herstellungs- und Strukturierungstechniken im nm-Maßstab, bis hin zu Manipulationen
im atomaren und molekularen Bereich, ist Voraussetzung für langfristige Entwicklungen
in der Fahrzeug-, Maschinentechnik, Optik und Analytik sowie der Chemie, Biologie,
Umwelt- und Medizintechnik., Positioniergenauigkeit (dx), ist die maßliche Abweichung
der tatsächlich erreichten Istposition XIST von der gewünschten Sollposition XSOLL:,
Dx , XIST - XSOLL, Die Positioniergenauigkeit
ist im Gegensatz zur Positionsauflösung die tatsächlich erreichte Genauigkeit des
Systems. Sie wird hauptsächlich von folgenden Faktoren beeinflusst:, Spindelsteigungsfehler,
Lagerspiel, Encoder-Teilungsfehler, Belastungen auf das System, Positionsauflösung,
Die Positionsauflösung ist definiert als kleinstmögliche Verstellung einer Translation
oder Rotation., Positionsstabilität, Die Positionsstabilität ist die Fähigkeit, eine
genaue Position über längere Zeit konstant zu halten. Die Abweichung von der stabilen
Position wird Drift genannt. Drift wird durch Abnutzung, Gleitmittelbewegung und Temperaturschwankungen
verursacht., Präzision, bezeichnet den Positionsbereich, innerhalb dessen 99,7 % der
Endpositionen bei wiederholten Positionieren liegen. Die Präzision wird auch Wiederholgenauigkeit
genannt., Reibung, Reibung wird als Widerstand bei einer Bewegung zwischen Kontaktflächen
definiert. Reibung kann konstant oder von der Geschwindigkeit abhängig sein. Verschiedene
Faktoren tragen zur Gesamtreibung eines Systems bei: z. B. Gleitreibung oder Abnutzung
und Gleitmittelviskosität., Reproduzierbarkeit, Die Reproduzierbarkeit bezeichnet
den Bereich, in dem eine Istposition variiert, wenn eine bestimmte Sollposition beliebig
oft unter gleichen Bedingungen angefahren wird. Man unterscheidet zwischen unidirektionaler
und bidirektionaler Reproduzierbarkeit., Rotationsencoder, Standardmäßig sind die
DC-Motoren mit einem hochauflösenden elektro-optischen Impulsgeber ausgestattet. Dieser
Impulsgeber erzeugt mittels einer Metallscheibenblende im Durchlichtverfahren zwei
um 90 Grad phasenverschobene Ausgangssignale. Pro Umdrehung liefert der Encoder beispielsweise
500 Impulse. Durch die elektronische Auswertung beider Signale erhält man neben der
Richtungserkennung eine Vervierfachung der Impulse auf 2000 Impulse pro Umdrehung.
Bei einer vorhandenen Spindelsteigung von 1 mm ergibt sich somit bei einem Steuerimpuls
eine Veränderung der Sollposition von 0,0005 mm, d.h. eine maximale Auflösung von
0,5 µm., Schrittweite, kleinste, ist die kleinste Bewegung, die ein Gerät zuverlässig
ausführen kann. Sie ist nicht mit der Auflösung der jeweiligen Anzeige zu verwechseln,
den die Anzeige darstellen kann und der wesentlich unter der eigentlichen Schrittweite
des Systems liegen kann., Spiel, ist die unkontrollierte Bewegung aufgrund von Toleranzen
bei mechanischen Teilen. Bei älteren Geräten, die überlastet oder unsachgemäß behandelt
wurden, kann sich das Spiel verstärken., Systematik der Postioniersysteme, Jeder Positioniertisch
hat sechs Freiheitsgrade: drei geradlinige Bewegungen entlang der Achsen X,Y und Z
sowie die Rotation um diese Achsen. Die beschriebenen Bewegungen beziehen sich meist
auf ein rechtshändiges Koordinaten-System, in dem jede Bewegung als eine Zusammensetzung
verschiedener geradliniger Bewegungen entlang und/oder Rotationen um die Koordinatenachse
betrachtet werden kann. Die Tische der Feinmess Dresden GmbH zeichnen sich durch eine
besonders präzise Bewegung aus. Dies bedeutet, dass einem gewünschten "geradlinigen"
Verfahren in Richtung der Bewegungsachse ein Ausbrechen des Positioniertisches in
die anderen Richtungen verhindert wird., Trägheit und Trägheitsmoment, ist das Maß
des Widerstandes einer Masse gegen eine (Dreh-) Geschwindigkeitsänderung. Je höher
die Trägheit oder das Trägheitsmoment, desto größer ist die zur Beschleunigung oder
Abbremsung einer Last erforderliche Kraft (Drehmoment). Die Trägheit (Trägheitsmoment)
hängt von der Masse (und der Form) der Last ab., Umkehrspiel, ist der Positionierfehler,
der bei einem Richtungswechsel auftritt. Das Umkehrspiel kann durch unzureichende
axiale Vorspannung oder ungenaues Ineinandergreifen der Antriebskomponenten, z.B.
der Getriebezähne, verursacht werden. Das Umkehrspiel tritt meist gleichmäßig auf
und kann durch eine geeignete Steuerelektronik ausgeglichen werden. Steinmeyer-Kugelgewindetriebe
und -spindeln zeichnen sich durch ein besonders geringes Umkehrspiel aus., Verkippung
und Taumeln, ist die als Winkel gemessene Abweichung von der Verstellachse. Verkippung
und Taumeln setzen sich aus drei orthogonalen Komponenten zusammen, die häufig mit
Rollen, Nicken und Gieren bezeichnet werden. Diese Fehler dominieren meist den gesamten
geometrischen Fehler von mehrachsigen Positioniersystemen., Wiederholgenauigkeit,
ist die Fähigkeit eines Systems eine Position zuverlässig wiederholt auf denselben
Befehl hin anzufahren. Häufig wir die unidirektionale Wiederholgenauigkeit angegeben,
womit die Fähigkeit des Gerätes bezeichnet wird, eine Bewegung in einer Richtung zu
wiederholen. Bei dieser Angabe werden Phänomene wie Umkehrspiel und Hysterese nicht
berücksichtigt., In manchen Fällen ist die bidirektionale Wiederholgenauigkeit wichtiger.
Sie setzt sich aus der unidirektionalen Widerholgenauigkeit und der Hysterese des
Systems zusammen. Die Fähigkeit der Wiederholgenauigkeit ist bei Systemen der Feinmess
Dresden GmbH besonders ausgeprägt., II. Mechanik, Seitenanfang , Aluminium, Aluminium
besitzt eine geringe Dichte, ist widerstandsfähig gegen Kaltfluss, hat ein günstiges
Verhältnis zwischen Steifheit und Gewicht und eine gute Wärmeleitfähigkeit. Deshalb
eignet sich Aluminium besonders für Anwendungen mit thermischen Gradienten oder Anwendungen,
bei denen eine schnelle Anpassung an die Temperatur erforderlich ist. Aluminium lässt
sich gut bearbeiten und das Rohmaterial ist in verschiedenen Ausführungen erhältlich.
Deshalb wird Aluminium häufig für Bauteile von Messtischen eingesetzt. Selbst bei
unbehandelter Oberfläche gibt es in normaler Umgebung keine störende Korrosion. Eloxiertes
Aluminium besitzt eine besonders widerstandsfähige Oberfläche.Eloxierte Oberflächen
sind porös und daher für Vakuumanwendungen nicht geeignet., Oberflächencharakteristik
Aluminium, Eloxiertes Aluminium besitzt eine korrosionsbeständige und widerstandsfähige
Oberfläche. Meist wird die Farbe schwarz verwendet um bei optischen Geräten die Blendwirkung
zu verringern. Eloxieren härtet die Oberfläche und erhöht die Widerstandsfähigkeit
gegen Kratzen und Abnutzung., Aktuatoren, Bei den hier beschriebenen Aktuatoren wird
ein Schlitten durch Ein- und Ausfahren einer Welle mittels einer elektromagnetischen
Einheit bewegt. Zur Minimierung von Umkehrspiel und Hysterese wird der Schlitten häufig
mit einer Feder gegen die Antriebswelle vorgespannt., Rotierende Spindel, Bei vielen
Aktuatoren wird das Drehmoment des Motors zum Drehen und Ausfahren einer Spindel genutzt.
Bei dieser Methode dreht sich die Aktuatorspitze auf der Oberfläche des Schlittens.
Dadurch treten an der Spitze Probleme wie Exzentrizität und Unebenheit auf, die durch
Abrunden der Aktuatorspitze, d.h. eine Verringerung der Kontaktfläche, minimiert werden
können. Ein Vorteil der rotierenden Spindelantriebe ist ihre kompakte Größe. Bei allen
Tischen der Feinmess Dresden GmbH wird dies standardmäßig durch eine spezielle Kupplung,
welche zwischen Tischplatte und Spindel entkoppelt, erreicht., Nicht-rotierende Spindel,
Besser sind hingegen Aktuatoren wie Piezoaktuatoren und elektrostiktive Aktuatoren
oder aber Aktuatoren mit spezieller Spindelkonstruktion., Obwohl Piezoantriebe sich
hervorragend für die Mikropositionierung eignen, ist ihre Wiederholgenauigkeit aufgrund
der hohen Hysterese und Langzeitdrift nur ungenügend., Deshalb wurden elektrostriktive
Antriebe entwickelt, die eine ebenso feine Positionierung mit weitaus weniger Hysterese
und Drift ermöglichen. Das kleinste realisierbare Bewegungsintervall beträgt bei diesen
Antrieben 5nm., Elektrostriktive und piezoelektrische Materialien arbeiten nach dem
gleichen Prinzip: Abhängig von der angelegten Spannung dehnen sie sich aus oder ziehen
sich zusammen. Jedoch nutzt der elektrostriktive Antrieb einen Stapel aus PMN-Kristallen,
während der piezoelektrische Antrieb einen Stapel von Blei-Zirkonat-Titanat-Kristallen
(PZT) verwendet. Der PMN-Stapel besteht aus vielen einzelnen Schichten mit ca. 120
µm bis ca. 250 µm Dicke, die mittels "diffusion bonding" miteinander verbunden
sind. Die Gesamt-Verschiebung ergibt sich aus der Verformung der einzelnen Lagen.,
Bei PMN-Materialien ist diese Längenänderung proportional zum Quadrat der angelegten
Spannung und etwa in der gleichen Größenordnung wie bei PZT. Im Gegensatz zu piezoelektrischen
Materialien sind PMN-Keramiken nicht gepolt. Positive oder negative Spannungsänderungen
bewirken eine Ausdehnung in Richtung des elektrischen Feldes - unabhängig von der
Polarität. Da PMN nicht gepolt ist, verhält sich das Material beträchtlich stabiler
und weist auch keine Langzeitdrift auf., Antriebe, manuell, Manuelle Antriebe bestehen
meist aus einer Feinverstellschraube mit gerändeltem Drehknopf. Die Einstellempfindlichkeit
hängt von der Spindelsteigung ab. Bei allen von Feinmess Dresden gelieferten manuellen
Antrieben wird eine Einstellempfindlichkeit von 1 µm angegeben. Dabei hat der Drehknopf
meist einen Durchmesser von 30 mm und die Gewindesteigung beträgt 1 mm. Mit Untersetzungsgetrieben
lässt sich eine Einstellempfindlichkeit von bis zu 0,1 µm erreichen., Antriebssysteme,
Im Allgemeinen werden bei Linear- und Rotations-Präzisionspositionierern folgende
Antriebe verwendet: Gewindespindel, Kugelumlaufspindel und Schneckenantrieb. Zwischen
Antrieb und Motor befinden sich Kupplungen und Getriebe, d. h. Komponenten, die die
Dynamik des Systems (z.B. Drehzahl, Belastbarkeit, Umkehrspiel, Steifheit des Antriebs)
beeinflussen. Das Getriebe ist häufig im Motor integriert. Anders der Piezokeramikmotor,
hier ist lediglich eine Keramikleiste vorhanden., Ausdehnung, thermisch, Temperaturschwankungen
verursachen Größen- und Formänderungen von Komponenten. Die Änderung hängt von der
Größe des Bauteils, des Aufbaus des Produktes (Bimetalleffekt) der Temperaturänderung
und von dem verwendeten Material ab., Encoder, Absolute Encoder, Absolute Encoder
besitzen mehrere Detektoren und mehrere Spuren mit Schwarz-Weiß-Mustern. Jeder Encoderposition
ist ein spezifisches binäres Ausgangssignal zugeordnet, d. h. die Achsenposition wird
absolut bestimmt. Absolute Encoder liefern den absoluten Positionswert direkt nach
dem Einschalten oder nach einer Störung., Inkrementale Encoder, Bei besonders auflösenden
Anwendungen oder wenn nur relative Informationen gebraucht werden, sind inkrementale
Encoder vorzuziehen. Hierbei werden die elektronischen Ausgangssignale durch die Bewegung
eines Lineals oder einer Scheibe mit Strichmuster erzeugt., Viele inkrementale Encoder
besitzen einen sogenannten Indeximpuls. Der Indeximpuls wird bei Rotationsencodern
einmal pro Umdrehung abgegeben. Er kennzeichnet eine absolute mechanische Referenzposition
der 360° Kreisteilung und ist genau einem Messschritt zugeordnet. Der Indeximpuls
stellt die Verbindung von relativen Gerätekoordinaten zu absoluten Systemkoordinaten
dar., Linearencoder, Linearencoder kommen zum Einsatz, wenn eine Direktkontrolle von
Positioniergenauigkeit, Auflösung und Wiederholgenauigkeit gewünscht wird. So können
Ungenauigkeiten in mechanischen Messtischen, die durch Umkehrspiel, Hysterese und
Spindelfehler verursacht werden, ausgeglichen werden. (siehe auch Längenmeßsystem),
Optische Encoder, Optische Encoder werden in der Regel als Rotations- oder Linearencoder
zur Bewegungs- und Positionserfassung verwendet., Eine Scheibe bzw. Lineal mit durchsichtigen
und undurchsichtigen Feldern wird zwischen einer Lichtquelle und einem Detektor bewegt,
wobei der Lichtstrahl unterbrochen wird. Aus der Lichtstärke werden dann Rückschlüsse
auf die jeweilige Position gezogen. Die dadurch erzeugten elektrischen Signale werden
an den Controller gesendet, der dann die Position und Geschwindigkeit aufgrund der
empfangenen Signale berechnet. Bei optischen Encodern wird zwischen absoluten und
inkrementalen Encodern unterschieden., Quadratur-Encoder, Quadratur-Encoder sind ein
spezieller Typ von inkrementalen Encodern mit mindestens zwei Ausgangssignalen, die
häufig mit Kanal A und Kanal B bezeichnet werden. Durch den zweiten Kanal wird die
Bewegungsrichtung angegeben. Die Fähigkeit, ist dann wichtig, wenn die Encoderrotation
an der Flanke eines Impulses stoppt. Ohne die Richtungsangabe könnte der Zähler jeweils
die ansteigende Signalflanke zählen und die Position verlieren., Ein weiterer Vorteil
des Quadratur-Signale: Die Anzahl der Impulse pro Umdrehung kann elektronisch erhöht
werden. Im 1-Takt-Modus werden die Impulse durch die ansteigenden Flanken auf Kanal
A erzeugt. Im 2-Takt-Modus werden die ansteigenden und absteigenden Flanken auf Kanal
A benutzt. Und im 4-Takt-Modus werden die ansteigenden und absteigenden Flanken auf
Kanal A und Kanal B benutzt. Dadurch lässt sich die Auflösung vervierfachen. Bei Encodern
mit sinusförmigen Ausgangssignalen kann durch Interpolation der Signale eine sehr
hohe Auflösung erzielt werden., Führungen, Führungen ermöglichen grundsätzlich leichtgängige
Rotations- oder Linearbewegungen mit geringer Reibung zwischen zwei Körpern. Führungen
beinhalten entweder eine Gleitbewegung oder eine Rollbewegung., Die Belastbarkeit
und die Führungsgenauigkeit eines Rotations- bzw. eines Linearmesstisches werden in
erster Linie von der Art der Führung beeinflusst., Kreuzrollenführungen, Kreuzrollenführungen
bieten alle genannten Vorteile von Kugelführungen bei erhöhter Belastbarkeit und Steifheit.
Dies rührt aus den Punktkontakten der Kugelführung die durch die Linienkontakte der
zylindrischen Rollen ersetzt werden., Kreuzrollenführungen sind in der Herstellung
etwas aufwendiger. Sie werden in Anwendungen eingesetzt, bei denen höchste Stabilität,
Steifheit und Widerstandsfähigkeit gefordert wird., Kugelführungen, Bei Kugelführung
wird die Gleitbewegung durch Rollbewegung ersetzt, was die Reibung vermindert.